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使用了4CH通道的法兰盘,节省了真空槽的空间。 ? 一次性安装光纤,大幅度削减了工时数(4CH通道法兰盘)。 ? 空气侧光纤两端可自由切割,能轻松抽回。 ? 选用侧光纤两端可自由切割,能轻松抽回。 ? 先用螺钉紧固型的1CH单通道法兰盘。 ? 在高温环境下使用时,可选用耐高温真空光纤。
通过结束带装置和导管附着可以简单地安装。 ? 在易谈的价格下装置,可为设备改善时的成本降低作出贡献。 ? 厚10mm的薄形管。由于可以密封安装,所以可以检测出Z小4mm的位差。 ? 即使在可然性气体中也可使用。
采用了耐药品、耐油性都很优秀的特氟龙(PFA) ? 能够民晶圆片洗净槽的硫酸等高温液体的检测相对应。(-40 ~ +200℃) ? 实现了0.5mm的高重复精度。 ? 采用了防止液体的结构。
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